芯片“中国芯”再添重器！国产350nm高端光刻机发货，打破海外垄断

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搜星网：上海，2025年11月26日讯 – 中国高端半导体装备领域迎来振奋人心的里程碑！上海芯上微装科技股份有限公司今日宣布，其自主研发的首台 350nm步进光刻机（AST6200） 已成功完成出厂验收与调试，正式启程发往客户现场。这一关键突破标志着我国在核心半导体制造设备国产化道路上迈出坚实一步，进一步打破了长期以来对海外技术的依赖。

AST6200步进光刻机是一款完全自主可控的国产高端设备，专为功率器件、射频芯片、光电子以及Micro LED 等新兴应用场景量身打造。

关键性能亮点包括：

• 高分辨率： 采用大数值孔径投影物镜及多种照明技术，实现 350nm 高分辨率，能满足目前主流化合物半导体芯片的先进光刻工艺需求。

• 高精度套刻： 配备高精度对准系统，实现正面 80nm、背面 500nm 的精准套刻能力，对提升器件良率至关重要。

• 自主控制： 搭载芯上微装自主研发的 全栈式软件控制系统，确保了从底层硬件驱动到上层工艺管理的完全自主可控。

芯上微装成立于2025年2月，是一家专注于高端半导体装备的创新企业。除光刻机外，其主力产品线还涵盖晶圆级先进封装光刻机、激光退火设备和前道缺陷检测设备，致力于构建国产半导体装备的完整生态。

这一重大进展，不仅验证了中国企业在复杂精密制造领域的攻坚能力，更为国内化合物半导体和新兴显示技术的发展提供了可靠的本土装备保障。